16H40 : n° 1054 Identification de faibles non linéarités dans un microsystème capacitif

Joseph Lardies Olivia Arbey Marc Berthillier
Université de Franche-Comté;Institut FEMTO-ST;LMARC
Dans la première partie de la communication, une approche analytique pour modéliser un microsystème capacitif est présentée. Les faibles non-linéarités en raideur provenant de la force électrostatique puis les faibles non-linéarités en raideur provenant de la membrane sont analysées. Les expressions de la tension de pull-in et de la déflexion de la membrane sont établies. Dans la seconde partie de la communication, une technique basée sur la transformée en ondelettes de la réponse temporelle du système vibrant nous permet d’identifier les faibles non-linéarités en amortissement et en raideur. Des exemples numériques sont présentés.

17H00 : n° 1093 Etude des proprietes mecaniques de MEMS par micro diffraction des RX

Philippe Goudeau Guillaume Geandier Nobumichi Tamura
laboratoire PhyMat UMR 6630 Universite de Poitiers - CNRS
Les contraintes résiduelles présentes dans les matériaux constituants les micro systèmes sont à l'origine de défaillance des dispositifs. La diffraction des rayons X est un outil non destructif qui permet de mesurer avec grande précision ces contraintes dans chacune des phases présentes dans les matériaux cristallins. L'utilisation de micro faisceaux sur des lignes de rayonnements synchrotrons permet de mesurer localement les états de contrainte.

17H20 : n° 761 caractérisation mécanique de films minces par une méthode éléments finis recalée sur un test de gonflement

Hicham Youssef André Ferrand
LAAS
La fiabilité des microsystèmes électromécaniques, est fortement associée à la performance et la bonne connaissance des propriétés mécaniques des matériaux qui les composent. Ainsi les propriétés mécaniques de ces matériaux doivent être déterminées avec précision. Par ailleurs, Il existe différentes méthodes de caractérisation des micro-matériaux, on peut citer à titre d’exemple la nano indentation, le test de micro traction uni-axiale, l’essai de micro flexion et le test de gonflement de membrane...