14H40 : n° 890 Réalisation de micro systèmes passifs par technologies non silicium

Arnaud De Grave Hans Nørgaard Hansen
MEK, Technical University of Denmark
Sous le millimètre, la fabrication mécanique miniaturisée et les technologies silicium offrent des alternatives pour les microsystèmes passifs. Pour des raisons économiques, de matériaux et géométrie, l'injection polymère est souvent utilisée. La chaine de production globale comprend des étapes d'outillage sur plusieurs gammes de dimensions. Nous en présentons deux méthodes dans un contexte industriel : directe et indirecte (inversion de géométrie par déposition électro-chimique et dissolution).

15H20 : n° 906 Micro-transducteur ultrasonique à base de nanotubes de carbone pour l'instrumentation immergée des matériaux cimentaires

Bérengère Lebental Anne Ghis Frédéric Bourquin Jean Marie Caussignac Pascale Chenevier
CEA/LETI
Le suivi in-situ des matériaux est essentiel au suivi du vieillissement des constructions. Cette science a besoin de microcapteurs autonomes implémentables en masse dans les matériaux cimentaires. Démontrer que de tels capteurs sont effectivement immergeables et qu'ils fournissent des informations exploitables sur la durabilité des structure constituerait une rupture technologique majeure. En vue de cet objectif à long terme, nous réalisons un nouveau type de cMUT. Il s'agit d'un dispositif hautes fréquences dont la membrane vibrante est faite de nanotubes de carbone alignés. Par une modélisation acousto-élastique couplée à partir d'une géométrie de pore schématique, nous avons évalué l'amplitude des vibrations de la membrane dans un pore rempli d'air ou d'eau et identifié des résonances liées aux dimensions du pore. Ce premier modèle valide l'intérêt applicatif du dispositif pour la métrologie de la microporosité.

15H40 : n° 577 Flambage et vibrations non-linéaires d'une plaque stratifiée piézoélectrique. Application à un capteur de masse MEMS

Olivier Thomas Liviu Nicu Cyril Touzé
Cnam / LMSSC
L'objet de cet exposé est de présenter les premiers résultats de modélisation et simulation du comportement vibratoire non-linéaire (raidissant et assouplissant) d'une plaque circulaire stratifiée en matériau piézoélectrique, précontrainte en flambage, qui constitue l'élément principal d'un capteur de masse MEMS.

16H00 : n° 1086 Modélisation non linéaire et optimisation de la gamme dynamique des nanocapteurs résonants

Najib Kacem Sébastien Hentz Sébastien Baguet Régis Dufour
CEA Grenoble
La très faible taille des NEMS leur permet d’atteindre des performances inégalées, mais engendre également l’apparition rapide de non-linéarités. Dans le cadre de nanocapteurs, nous avons développé un modèle dynamique non linéaire couplant méthode de Galerkin et technique de perturbation et permettant l’écriture paramétrique et analytique de la réponse fréquentielle pour par exemple déduire l’amplitude critique ainsi que l’instabilité de Pull-in par une analyse des points de bifurcations.