n° 890 Conférence d'ouverture : Réalisation de micro systèmes passifs par technologies non silicium

Arnaud De Grave Hans Nørgaard Hansen
MEK, Technical University of Denmark
Sous le millimètre, la fabrication mécanique miniaturisée et les technologies silicium offrent des alternatives pour les microsystèmes passifs. Pour des raisons économiques, de matériaux et géométrie, l'injection polymère est souvent utilisée. La chaine de production globale comprend des étapes d'outillage sur plusieurs gammes de dimensions. Nous en présentons deux méthodes dans un contexte industriel : directe et indirecte (inversion de géométrie par déposition électro-chimique et dissolution).
communication programmée pour lundi après midi 14H40 salle K

n° 906 Micro-transducteur ultrasonique à base de nanotubes de carbone pour l'instrumentation immergée des matériaux cimentaires

Bérengère Lebental Anne Ghis Frédéric Bourquin Jean Marie Caussignac Pascale Chenevier
CEA/LETI
Le suivi in-situ des matériaux est essentiel au suivi du vieillissement des constructions. Cette science a besoin de microcapteurs autonomes implémentables en masse dans les matériaux cimentaires. Démontrer que de tels capteurs sont effectivement immergeables et qu'ils fournissent des informations exploitables sur la durabilité des structure constituerait une rupture technologique majeure. En vue de cet objectif à long terme, nous réalisons un nouveau type de cMUT. Il s'agit d'un dispositif hautes fréquences dont la membrane vibrante est faite de nanotubes de carbone alignés. Par une modélisation acousto-élastique couplée à partir d'une géométrie de pore schématique, nous avons évalué l'amplitude des vibrations de la membrane dans un pore rempli d'air ou d'eau et identifié des résonances liées aux dimensions du pore. Ce premier modèle valide l'intérêt applicatif du dispositif pour la métrologie de la microporosité.
communication programmée pour lundi après midi 15H20 salle K

n° 577 Flambage et vibrations non-linéaires d'une plaque stratifiée piézoélectrique. Application à un capteur de masse MEMS

Olivier Thomas Liviu Nicu Cyril Touzé
Cnam / LMSSC
L'objet de cet exposé est de présenter les premiers résultats de modélisation et simulation du comportement vibratoire non-linéaire (raidissant et assouplissant) d'une plaque circulaire stratifiée en matériau piézoélectrique, précontrainte en flambage, qui constitue l'élément principal d'un capteur de masse MEMS.
communication programmée pour lundi après midi 15H40 salle K

n° 1086 Modélisation non linéaire et optimisation de la gamme dynamique des nanocapteurs résonants

Najib Kacem Sébastien Hentz Sébastien Baguet Régis Dufour
CEA Grenoble
La très faible taille des NEMS leur permet d’atteindre des performances inégalées, mais engendre également l’apparition rapide de non-linéarités. Dans le cadre de nanocapteurs, nous avons développé un modèle dynamique non linéaire couplant méthode de Galerkin et technique de perturbation et permettant l’écriture paramétrique et analytique de la réponse fréquentielle pour par exemple déduire l’amplitude critique ainsi que l’instabilité de Pull-in par une analyse des points de bifurcations.
communication programmée pour lundi après midi 16H00 salle K

n° 1054 Identification de faibles non linéarités dans un microsystème capacitif

Joseph Lardies Olivia Arbey Marc Berthillier
Université de Franche-Comté;Institut FEMTO-ST;LMARC
Dans la première partie de la communication, une approche analytique pour modéliser un microsystème capacitif est présentée. Les faibles non-linéarités en raideur provenant de la force électrostatique puis les faibles non-linéarités en raideur provenant de la membrane sont analysées. Les expressions de la tension de pull-in et de la déflexion de la membrane sont établies. Dans la seconde partie de la communication, une technique basée sur la transformée en ondelettes de la réponse temporelle du système vibrant nous permet d’identifier les faibles non-linéarités en amortissement et en raideur. Des exemples numériques sont présentés.
communication programmée pour lundi après midi 16H40 salle K

n° 1093 Etude des proprietes mecaniques de MEMS par micro diffraction des RX

Philippe Goudeau Guillaume Geandier Nobumichi Tamura
laboratoire PhyMat UMR 6630 Universite de Poitiers - CNRS
Les contraintes résiduelles présentes dans les matériaux constituants les micro systèmes sont à l'origine de défaillance des dispositifs. La diffraction des rayons X est un outil non destructif qui permet de mesurer avec grande précision ces contraintes dans chacune des phases présentes dans les matériaux cristallins. L'utilisation de micro faisceaux sur des lignes de rayonnements synchrotrons permet de mesurer localement les états de contrainte.
communication programmée pour lundi après midi 17H00 salle K

n° 761 caractérisation mécanique de films minces par une méthode éléments finis recalée sur un test de gonflement

Hicham Youssef André Ferrand
LAAS
La fiabilité des microsystèmes électromécaniques, est fortement associée à la performance et la bonne connaissance des propriétés mécaniques des matériaux qui les composent. Ainsi les propriétés mécaniques de ces matériaux doivent être déterminées avec précision. Par ailleurs, Il existe différentes méthodes de caractérisation des micro-matériaux, on peut citer à titre d’exemple la nano indentation, le test de micro traction uni-axiale, l’essai de micro flexion et le test de gonflement de membrane...
communication programmée pour lundi après midi 17H20 salle K